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北方华创申请工艺腔室及半导体相关专利, 提供一种工艺腔室相关的技术

金融界2025年3月29日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺腔室及半导体工艺设备、灯管拆装工具及拆装方......【更多...】

2025-04-12